武汉理工大学-晶圆载片参数测试系统|英铂携手MPI探针台助力理工大学搭建8寸半自动晶圆载片参数测试系统

武汉理工大学位于湖北省武汉市，是中华人民共和国教育部直属全国重点大学，是首批列入国家“211工程”和“双一流”、“985工程优势学科创新平台”建设的高校，是教育部和交通运输部等部委共建高校。

英铂科学仪器是一家上海市高新技术·专精特新、上海市科技小巨人培育企业，在全国拥有10多个销售&售后点，在上海拥有全套Open Lab公开实验室。致力于半导体和微纳米领域电学测试完整解决方案。领域涵盖DC直流、RF射频、HP功率电子、光电、极低温磁场、ESD/TLP、PCB测试等等。为客户的研发、失效分析、可靠性、WAT、CP、Burn in等提供完整且具性价比的方案。

MPI公司是台湾上市企业，拥有5大部门，分别是量产探针卡、热流仪、高性能探针卡、光电探针台、先进半导体探针台。核心团队均是从业近30年的业内专家，研发位于德国、美国、新加坡和台湾。专业提供先进的探针台、相关耗材及定制产品。

装机现场

装机产品介绍

MPI的TS2000-SE/8寸半自动探针台是具有创新功能的200mm自动化晶圆测试系统，其包含独特的侧面自动装卸功能和超高屏蔽下的超低噪声环境。

1、ShielDEnvironment

MPI ShielDEnvironment是一个高性能的微屏蔽暗箱，可为超低噪声，低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境

2、自动化晶圆装载系统

该功能提供了非常方便的晶圆装载，并且易于针对自动程序进行预对准，可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圆，针对高低温环境下可提高测试效率

3、ERS独特的 AC3冷却技术

MPI旗下全系列探针台系统均采用ERS的AC3冷却技术和自我管理系统，可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment，可大幅减少30%至50%的空气消耗

4、侧视影像系统(VCE)

借助MPI 8寸探针台独特的自动侧视– VCE影像系统可视化的观察探针针尖与样品之间的接触，使用DC或RF等探针卡非常安全

• 模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

• 射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

• 失效分析 - 探针卡 / 节间探测

• 可靠性测试 - 热/ 冷 / 长时间测试

• 高功率测试 - 至高 10 kV / 600 A

• MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境，专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境

• 支持飞安级低漏电值量测

• 支持温度范围 -60 °C 至 300 °C

英铂-高低温样品台

高低温载物台系统提供晶圆级承载，具备可变温环境，可满足测试如射频、高压、直流等晶圆的承载作用，可与多种机型搭配。

• 具备气冷式降温凹槽式设计，具备12英寸、8英寸或定制6英寸可选尺寸，具备最小吸附样品尺寸4*4mm

• 表面材质可选，如镀金或者镀镍，适用于不同测试应用，可选密孔

• 真空吸附可独立控制范围，

•  选配陶瓷射频载物台

•  可选配背电极，漏电＜1pA

•  高功率最大可满足 10KV/200A 的选配

•  满足-60℃-300℃最大温区

不忘初心

筑梦前行